Dab tsi yog lub hom phiaj hlau?

Dab tsi yog lub hom phiaj hlau?

Cov khoom siv hom phiaj yog ib qho ntawm cov ntaub ntawv tseem ceeb rau kev npaj cov yeeb yaj kiab nyias. Nws yog tsuas yog siv nyob rau hauv kev sib xyaw ua ke, tiaj tus vaj huam sib luag qhia tawm, cov xov xwm hnub ci, thiab muaj cov ntaub ntawv txias, thiab muaj cov khoom muaj txiaj ntsig zoo rau cov khoom siv purity thiab ruaj khov.

Ua haujlwm ua haujlwm ntawm Sputtering Lub Hom Phiaj Cov Khoom Siv: Sputtering yog ib qho ntawm cov thev naus laus zis rau kev npaj cov ntaub ntawv ua yeeb yaj kiab. Nws siv ions tsim los ntawm ib qho ion qhov twg los ua kom nrawm thiab sib sau ua ke los ua qhov siab 000 bombard cov khoom nto. Cov kabmob thiab cov atoms ntawm cov khoom sib xws sib pauv kev sib pauv kev sib pauv kev sib pauv kev hloov pauv kev sib pauv ntawm cov khoom sab thiab tso nyiaj rau ntawm cov npoo av. Cov khoom tawg foob yog cov khoom siv lub hom phiaj.

Txoj kev txhim kho ntawm cov khoom siv phiaj yog: tus nqi sputtering, cov kab ke kev tswj hwm loj, loj thiab siab {{purity hlau.

Cov khoom siv hom phiaj yog welded los ntawm "phiaj dawb paug" thiab "nraub qaum".

(1) Lub hom phiaj dawb paug yog lub hom phiaj khoom kaw bombarded los ntawm lub siab- nrawm ion nqaj. Nws yog qhov tseem ceeb ntawm cov khoom siv lub hom phiaj rau cov khoom siv thiab cuam tshuam nrog kev siab siab- kev tswj cov hlau. Thaum lub sij hawm sputtering txheej txheej txheem, tom qab lub hom phiaj dawb yog tsoo los ntawm ions, nws cov npoo av yog sputtered thiab tso rau ntawm lub substrate los tsim zaj duab xis hauv cov duab hluav taws xob.

(2) Lub nraub qaum rov qab ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev txhim kho lub hom phiaj sputtering, uas cuam tshuam nrog vuam cov txheej txheem. Txij li high - Cov hlau purals muaj lub zog tsawg, lub hom phiaj sputtering yuav tsum tau nruab rau lub tshuab ua kom tiav cov txheej txheem sputtering. Lub tshuab yog nyob rau hauv lub siab - voltage, siab- Lub tshuab nqus tsev. Yog li ntawd, lub hom phiaj sputtering dawb paug ntawm ultra {{7} high {} high {8}- Cov hlau siab yuav tsum tau koom nrog cov txheej txheem vuam sib txawv. Daim phiaj tom qab yuav tsum muaj hluav taws xob zoo thiab thermal ua haujlwm.