Kev npaj ntawmniobium hlaulos ntawm chemical vapor deposition
Tshuaj vapor deposition, los yog CVD, yog ib txoj kev ntawm degrading gaseous chemicals rau hauv cov ntaub ntawv uas nyob rau hauv lub kub kub. Txoj kev no muaj qhov zoo ntawm kev ua haujlwm yooj yim, lub voj voog luv luv, thiab cov nqi tsim khoom tsawg. Hauv qab no yog cov ncauj lus kom ntxaws txog kev npaj niobium hlau:
1. Kev npaj ua ntej npaj
Ua ntej, cov hmoov zoo niobium hlau yuav tsum raug xaiv, tshuaj xyuas thiab ua kom zoo kom ntseeg tau tias cov hmoov zoo thiab lub xeev ntog raws li qhov yuav tsum tau ua. Nyob rau tib lub sijhawm, cov roj tsim nyog, qhov kub thiab txias, cov tshuaj tiv thaiv lub sijhawm thiab lwm yam kev mob yuav tsum raug xaiv los xyuas kom meej qhov kev vam meej ntawm cov tshuaj tiv thaiv.
2. Cov txheej txheem npaj
Niobium hmoov yog ntxiv rau lub reactor, thiab cov tshuaj tiv thaiv kub nce mus txog 1300 degree los ntawm cua sov. Tom qab ntawd, cov tshuaj tiv thaiv roj (xws li niobium pentachloride) tau nkag mus rau hauv lub reactor thiab maj mam decomposed rau saum npoo ntawm niobium hmoov los tsim cov hlau niobium vapor. Nyob rau hauv lub sij hawm tsim nyog cov tshuaj tiv thaiv, niobium vapor yuav muab tso rau hauv ib zaj duab xis nyias hauv lub reactor, thiab thaum kawg tsim niobium hlau.
3. Tom qab ua tiav
Tom qab cov niobium hlau tsim, tom qab ua tiav yuav tsum tau ua. Feem ntau, niobium hlau yuav tsum tau muab tshem tawm kom tshem tawm cov kev ntxhov siab sab hauv thiab cov qauv tsis sib xws thiab txhim kho lub cev ntawm niobium hlau.
Zhenan Niobium Hlau Khoom Duab Duab
